韓國(guó)半導(dǎo)體用臭氧發(fā)生器CN-1介紹

優(yōu)點(diǎn)

產(chǎn)生高濃度臭氧

臭氧濃度220mg/L（約15%）

流量調(diào)節(jié)0~2[LPM]

臭氧出口壓力0~2kg/c㎡

原料空氣氧氣、氮?dú)?/p>

可調(diào)節(jié)壓力0.5~1.2kg/c㎡

冷卻式水冷式專用

其他氧氣發(fā)生器外置，需要外部冷卻水供應(yīng)，防逆流（可選）

參數(shù)

型號(hào)名稱：CN-1

臭氧濃度：220g/?  氧氣 1.0 LPM 標(biāo)準(zhǔn)

功耗：MAX 0.7KW （氧氣發(fā)生器，冷卻器單獨(dú))

電源規(guī)格：220V 1Φ 60Hz

冷卻方法：僅限水冷式

冷卻液需求：3LPM 或更高版本

流量控制：Flow Controller

控制臭氧濃度：Digital Volume

顯示設(shè)備 

1. 液晶屏顯示 -RUN，PURGE，ERROR，PV[%]，SV[W]

2. 測(cè)量?jī)xLCD：顯示臭氧生成濃度值

3. 控制器：在雷莫特操作時(shí)設(shè)置目標(biāo)臭氧濃度

4. 流控制器：設(shè)置供氣流量

5. O<> 壓力表：臭氧發(fā)生器內(nèi)部壓力指示

控制臭氧的產(chǎn)生：功耗控制在 12% 到

進(jìn)出口：1/4"(6.3Φ)

主材：Stainless Steel, Aluminum

尺寸 （WXDXH）：479 × 446 × 843(mm)

產(chǎn)品重量：約 60 Kg

操作條件

? 正常溫度 （0°C 至 30°C）)

? 通風(fēng)良好且無濕氣的地方