ANRIC AT-OZONE 臭氧發(fā)生器功能和規(guī)格

特點

用于非循環(huán)臭氧流動的高容量臭氧破壞器。消除機組廢氣流中的臭氧

帶自動控制的 O2 入口截止閥

電暈電池由帶陶瓷電介質的鋁制成

低流量時重量比 12%，高流量時為 6%

工作頻率： 5，000 – 30，000 Hz

自動臭氧控制需要3-24V輸入信號

臭氧內部

ATOzone（臭氧發(fā)生器）系統(tǒng)利用高質量的組件來產生一個整體系統(tǒng)，以非常小的外形尺寸提供高濃度的臭氧。

該系統(tǒng)不需要昂貴且笨重的水冷，只需內置高速風扇即可保持漿池冷卻，即使在長時間或持續(xù)使用期間也是如此。

純氧從背面進入工具。氧氣壓力使用前面板安裝調節(jié)器進行調節(jié)，然后送入電暈漿池以產生臭氧。然后將臭氧在內置的臭氧破壞裝置和系統(tǒng)前端的臭氧輸出之間分配。如果未使用臭氧（即未流過 ALD 系統(tǒng)或其他設備），則所有臭氧都會進入銷毀單元，流出的再次是純 O2，它通過流量控制器引導，然后流向后面的排氣口。如果臭氧被利用，那么臭氧的凈流量是輸出而不是通過破壞。

有幾種方法可以操作系統(tǒng)。 您可以手動打開系統(tǒng)以輸出 O2 或 O3（通過前面板上的開關），也可以使用 3-24V 信號遠程打開和關閉 O3/O3 輸出。