SEMOZON AX8575臭氧發(fā)生器系統(tǒng)性能圖

臭氧作為強氧化劑，與其他氧化劑相比具有許多優(yōu)點。臭氧具有很高的氧化還原電位，可以在使用點產生，它會自然衰變?yōu)檠鯕猓?O3 ? 3O2）。因此，它被認為是一種“綠色”化學品。如果需要，還可以使用催化或熱破壞單元在處理室的輸出處破壞臭氧。這顯著降低了化學處理成本，因為輸出是氧氣且不含臭氧。臭氧在室溫下非常穩(wěn)定，使其成為大多數應用的理想選擇。典型的臭氧應用包括 ALD、CVD、TEOS/臭氧 CVD、光刻膠剝離、晶片清潔、污染物去除、表面處理和氧化物生長。

SEMOZON AX8575 系統(tǒng)可配置多達四 (4) 個獨立通道，以同時支持多個工具或腔室。每個通道都可以與您的特定過程所需的特定濃度和流量相匹配。對于超高濃度工藝，該系統(tǒng) 很多可配置為兩 (2) 個通道，帶有機架內冷卻器，從而保持相同的占地面積。每個通道的臭氧源是經過生產驗證的 SEMOZON AX8407 系列臭氧發(fā)生器。它采用了 MKS 獲得的、經過現場驗證的、高濃度、超潔凈的臭氧發(fā)生技術。 SEMOZON AX8575 包括獨立運行所需的所有子組件，包括配電、環(huán)境臭氧安全監(jiān)視器和狀態(tài)指示燈面板。

注：各輸出通道的臭氧性能請參考右側SEMOZON AX8575性能圖。